[图片] 1月6日,据英国路透社报导,美国政府为了约束荷兰ASML公司向我国公司出口极紫外光刻机(EUV),对荷兰政府多次施压。 [图片] 这台价值1.5亿美元的光刻机一下成了世界舆论的焦点。美国政府为什么对这台机器如此“关怀”?光刻机是用来干什么的? 这对我国将发生什么样的影响? 下面就让世界华人周刊为你揭开光刻机背面的故事。 1、 美国的阻遏2018年,一家我国公司向荷兰的ASML公司购买了一台EUV光刻机,交货的时刻是2019年头。 [图片] 荷兰政…
光刻机的前史在现在的滋润式光刻机开展起来之前,世界半导体范畴名副其实的霸主仍是干式光刻机,那时的ASML仍是半导体范畴一粒不起眼的尘土,乃至ASML其时都不叫这姓名还生计无望,诺大的欧洲只要飞利浦给ASML弄了几间简易的厂房,在外人看来这便是ASML的宿命了,可是我国台湾人林本坚给ASML带来了生计的期望。2002年,干式光刻很被在林本坚提出的滋润式光刻宣告死刑,ASML抓住机遇敏捷兴起,很快便逾越了尼康、IBM、佳能等一众…
光刻机(Mask Aligner) ,又叫掩模对准曝光机,是芯片制作流程中,光刻工艺的中心设备。芯片的制作流程极端杂乱,但能够归纳为几大过程: 硅片的制备--
外延工艺--
热氧化--
分散掺杂--
离子注入--
薄膜制备--
光刻--
刻蚀--
工艺集成等。 而光刻工艺是制作流程中最要害的一步,光刻确认了芯片的要害尺度,在整个芯片的制作过程中约占有了全体制作本钱的35%。 光刻(photolithography)工艺是将掩膜版(光刻版)上的几何图形搬运…
看了一下高赞答复,都在说光刻机多么精细,制作多么困难,ASML的大股东在美国,却没有真实的答复问题。 要知道为什么最好的光刻机来自荷兰,而不是美国,得从半导体开展的三个前史阶段说起。 前语在20世纪70年代初,荷兰飞利浦研制实验室的工程师们制作了一台机器:一台试图画印钞票相同合法挣钱的机器。但他们其时并没有意识到自己发明了一个“怪物”,这台机器在未来的20年里除了吞噬金钱没有做任何事情。 [1]第一阶段:上世纪…
阿斯麦占有超越全球 70% 的高端光刻机商场,最先进的 EUV 光刻机一台卖价高达上亿元 ( 1.2 亿美金),且求过于供,由于在高端光刻机商场全球仅阿斯麦一家。以现在最先进的 7nm 和 5nm 制程来说,只要阿斯麦的 EUV 光刻机才干到达。 [图片] 光刻机的世界里不允许 …
中芯世界为什么非要买7nm的EUV光刻机呢,7nm的DUV光刻机不是相同能用吗?
首要人家叫中芯世界。。。为了避嫌,圈内直接叫英文缩写SMIC 的音译 斯米克的多。 第二DUV是指 193nm波长的那批光刻机,分干式和液浸式。基本上液浸式一次曝光能够搞定45-28的工艺,再往下,要用多重曝光技能。 TSMC确有用DUV做到了7nm,由于那会儿EUV都还没到货,所以网上有人说人家DUV就能搞定,为什么你搞不定?的确,这便是技能的距离。 做个假定,现在TSMC来用斯米克的设备,我信任TSMC 就能搞定7nm,可是而斯米克的人去T…
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