现在，芯片已进入了人类现代社会的方方面面，大到飞机舰船、卫星火箭，小到人们手中的手机、“随身听”，都离不开芯片。跟着以美国为首的国家对华为公司的镇压，“光刻机”成了网络热搜词，议论光刻机的文章漫山遍野。

　　实在的状况是：我国不只从前研制出世界一流水平的光刻机，并且是在外界封闭禁运的状况下独立研制制作，具有完好常识产权。人们更不会知道，我国光刻机的研制制作，与一位贵州籍的科学家徐端颐密切相关。

　　1955年，从贵阳一中高中结业的徐端颐以优异成绩考入清华大学，1961年从清华精细仪器系结业后留校任教。“文革”期间，清华大学的大批教职员工被下放到江西鄱阳湖畔的农场，在“工宣队”的监督下“改造思想”，跟贫下中农学种水稻，徐端颐也在其间。次年，初为人父的徐端颐回家园贵州省亲时，将2岁的幼子也带到了江西农场，预备在那里落地生根，当一辈子农人了。一天深夜，北京忽然来了紧迫电话，指令徐端颐当即回来北京，有重要任务。回到北京后，徐端颐才知道，本来是要他担任研制国家半导体工业和国防工业急需的关键设备——“主动光刻机”和“分步重复照相机”。

　　清华大学为徐端颐装备了实力很强的研制部队。清华精细仪器系大楼建成后，在大楼的一层建立了精细光学仪器加工工厂（9003实验基地），沈钊先生任系主任兼厂长。校园将整个工厂的工程技能人员部队，其间包含几百个技能出众的钳工、搞精细机械加工的其他工种的师傅，都划归徐端颐一致分配；又分配了清华结业的一批本科生和一批本质很好的转业军人，参与这个研讨团队。此外，校园还从其他单位调来好几位搞计算机控制的教师和技能工人。研制部队成员包括全校5个系，人数多达数百人，是一次大规划的集团作战。

　　由于光刻机的制作技能太杂乱，难度太高，世界“巴黎统筹委员会”（巴统）早就将其列为尖端技能产品，对华实施封闭禁运。此刻的我国与外界阻隔，底子不可能取得任何外国材料。徐端颐带领其团队研制新设备，悉数图纸都是由自己规划，悉数零部件都是自己的车间加工制作，一切都是从零开端。

　　尽管徐端颐和团队成员曩昔都没有搞过光刻机的研制制作，缺少这方面的常识，可是我们都非常细心尽力，边干边学，展开很快。难能可贵的是，其时没有一分钱的奖金和加班费，团队的一切成员都主动加班加点，没日没夜地苦干。

　　徐端颐团队从光刻机干涉仪可稳频的氦-氖气体激光器的研制做起，直到精细导轨、丝杠、滚珠、步进电机、数字控制用的计算机、光学系统、大孔径的投影物镜等，都是自己规划制作。

　　在极端困难的条件下，经过一年多的艰苦尽力，徐端颐团队不负众望，总算在1971年研制出我国第一台光刻机和分步重复照相机，并投入规划出产，供给全国半导体职业运用。此效果于1978年荣获全国科技大会奖。

　　从1975年开端，徐端颐选用直接在半导体晶片上光刻集成电路的办法，投入了对“主动对准分步投影光刻机”的研制。1980年，徐端颐团队完成了国内第一台“主动对准分步投影光刻机”的研制，加工最细线微米，填补了国内技能空白，投入批量出产，交付运用。这是我国的第二代光刻机。此效果获1981年北京市首届科技效果一等奖。直到今日，世界上只要美国、日本等少量国家能制作这种设备。

　　1987年，国家电子工业部安排建立了“我国电子专用设备工业协会”（CEPEA），这是国家同意的具有社团法人资格的全国性工业职业协会，全国共有一百多个会员单位。徐端颐领导的清华大学微细工程研讨所，是其时全国大专院校中仅有的专门从事电子专用设备研讨的单位。

　　徐端颐被选为我国电子专用设备工业协会的副理事长，其上级事务主管部门便是工业和信息化部。

　　我国电子专业设备工业协会建立后，徐端颐被约请到许多单位讲学。他在清华大校园内举办了光学微加工技能短训班，针对在职技能人员编写了《投影光刻机结构原理及规划》《光电主动对准与调焦技能》等教材。一同，他还担任《电子工业专用设备》杂志的编委。

　　我国的电子工业专用设备工业在这段时期展开很快，配套彻底，这在其他国家并不多见。

　　在长时间研制的基础上，徐端颐带领其团队，积极地展开了更为先进的“分步投影光刻机”的研制。

　　这种新式光刻机的规划目标，瞄准了其时世界的最高水平。例如：可光刻的芯片最大面积为10×10平方毫米，实践有用分辨率为1.25微米，工作台行程160×160毫米，可加工4-6英寸的晶片。

　　该光刻机研制成功后，一同投产了3台。其间，一台留在清华微细工程研讨所进行实验研讨；别的两台，则别离提供给我国科学院109厂和北京半导体器材厂，进行试用查核。

　　我国科学院的王守武先生，用这台光刻机进行了多种大规划集成电路的研制，成品率与传统工艺比较，均匀提高了27%。

　　王守武先生对徐端颐创造的在光刻掩模上添加保护膜的新办法非常欣赏，还介绍了一家美国公司来与徐端颐团队协作出产。

　　此项效果上签到电子工业部后，有关领导非常注重，亲身到清华大学和中科院实验现场调查。

　　1991年1月，电子工业部和国家教育委员会招集国内有关权威专家，在清华大学安排了一次规划很大的判定会和技能沟通会，对清华大学徐端颐等研制的第三代“主动对准分步投影光刻机”进行判定。判定会由电子工业部领导掌管，由我国物理学界泰斗王守武先生任评定专家组组长。徐端颐在会上介绍了清华光刻机的研制状况。

　　这一次的判定会规划很大，非常盛大。除电子工业部专用设备司司长陆锦荣等领导外，科技部、国家教委的领导也纷繁到会。清华主管科研的常务副校长倪维斗担任招待。此外，还有一批来自全国各地的半导体加工专用设备出产厂的代表参与。

　　“这台光刻机还不错。期望我们细心提修改定见。运用单位应该积极参与设备研制。”

　　在判定会举行之前，王先生给了徐端颐一个专家组名单，让清华正式约请这些专家组成判定小组。此外，他还指定了一批有关设备规划制作、半导体器材出产单位的工程技能人员，和电子工业部的领导一同，对这台光刻机进行现场测验，并将测验数据材料交给判定委员会专家组检查。

　　最终，王守武先生依据这些数据材料和专家组的定见，起草了判定定见，并亲安闲会上宣读了判定成果。

　　徐端颐搞电子工业专用设备多年，参与过各种产品判定会，但都没有经历过这样严厉细心的判定程序。

　　清华大学由此成为我国仅有的能自主研制出产世界一流水平的高端光刻机的单位。

　　经过国家级的正式判定后，徐端颐团队研制的第三代“主动对准分步投影光刻机”和该机运用的镜头，双双荣获“国家科技效果奖”。

　　1991年3月，电子工业部决议将该机在国家计委主办的“首届全国工业企业技能进步成果博览会”上展出。所以，清华大学研制的这台“主动对准分步投影光刻机”被安顿在北京展览馆主展厅，向中外观众、国内外专家及媒体记者展出。

　　《人民日报》（海外版）、《北京日报》、北京电视台等媒体报道了这一音讯后，引起了各国科学界的注重。

　　这天，徐端颐接到北京展览馆来电说，他们要招待一个重要的外国代表团来观赏，要求徐端颐亲身招待。

　　徐端颐准时来到北京展览馆主展厅后，王守武先生伴随一个外国代表团来到清华大学的展位，观赏清华研制的主动投影光刻机，伴随的还有许多中外记者。

　　徐端颐不知道这些人是什么来头，没敢多问，很有礼貌地招待他们观赏光刻机，对方问什么就答什么。

　　此刻的我国科学界彻底没有“常识产权”这个概念，不知道保密，不管人家问什么，都会言无不尽。

　　1991年3月，清华大学研制的第三代“主动对准分步投影光刻机”在北京展览馆参与“首届全国工业企业技能进步成果博览会”。图为徐端颐（中）向与会专家介绍我国光刻机的研制状况

　　这些外国专家围着这台光刻机转来转去，看得非常细心，提的问题非常专业；有的专家乃至还爬在地上，转到后边，细心看光刻机的内部结构。

　　当美、日专家亲眼看到我国在国外封闭、禁运的状况下，独当一面研制出了具有世界一流水平的光刻机，具有彻底的常识产权，惊诧不已，连说：“难以想象！”（inconceivable）

　　美、日专家脱离后不久，其他国家的光刻机专家也接二连三，来了一拨又一拨。其时国外出产光刻机的闻名公司和厂家简直都派人来到北京，观赏调查清华大学自主研制的光刻机。他们都看得非常细心，发问也非常内行。徐端颐友爱地招待了这些外国专家，现场答复了他们提出的各种问题。这些专家对我国独当一面研制出光刻机心服口服，还热心地约请徐端颐去他们那里拜访沟通。惋惜的是，来访者中唯一没有后来成为世界光刻机职业巨头的荷兰艾司摩尔公司（ASML）的代表，此刻，这家公司还没有诞生。

　　北京博览会完毕，这些外国专家脱离我国回国后不久，世界“巴黎统筹委员会”便宣告：撤销对华出口投影光刻机的禁运令。美国和日本这两个其时世界上首要出产“分步投影光刻机”的国家一同宣告，撤销对我国的出口禁令，能够向我国出口这类投影光刻机，并且价格比较优惠。一同，还祭出了一个颇具诱惑力的法宝——“凡购买本公司光刻机的我国企业，欢迎其领导人来本公司观赏拜访游览，来回的机票、酒店住宿和一切的游览费用，悉数由本公司承当”。

　　此刻，国门刚刚翻开不久，外面的世界很精彩，对我国企业的领导人很有吸引力，都想找个时机出国去看一看，玩一玩，开开视野。

　　所以，原先预备购买清华大学出产的投影光刻机的许多单位纷繁改动主见，来电话说不要了；连本来和清华大学有长时间协作关系的我国科学院半导体所109厂及北京、上海、天津、无锡等地的其他大单位，都纷繁撤销了订单。清华大学研制制作的新式主动光刻机没有了商场，也就失去了生存空间。

　　所以，徐端颐团队消耗很多汗水研制成功的主动光刻机——这一出产加工芯片的重要关键设备，就此夭亡。多年来的一切尽力和无尽汗水，悉数付诸东流。

　　徐端颐，这位掌管研制出我国第一台光刻机的科学家，从此不能再造光刻机，其心里的沉痛可想而知。无法之下，他只好告别了光刻机研制范畴，将目光转向世界上方兴未已的光盘研讨。

　　尔后，清华大学徐端颐团队在光盘研讨范畴取得了骄人的成果。我国的光盘研制制作在世界上独领风骚，产销量和出口量均居世界第一，在世界上占有了一席之地，令世人刮目相看。

　　徐端颐成为我国光盘研讨范畴的首要奠基人之一。他具有67项我国专利、2项美国专利，屡次应邀担任世界光学会议主席，荣获我国科技最高奖“国家创造奖”，被任命为国家重点基础研讨项目首席科学家。

　　清华大学停产光刻机后，局势扶摇直上。国外出产的光刻机势如破竹，敏捷抢占了我国商场。

　　已然我国现已“挥刀自宫”，自己抛弃了光刻机的研制制作，外国的光刻机出产公司没有了竞争对手，光刻机的价格便一路水涨船高，节节攀升。多年今后，主动光刻机囤积居奇，价格暴升到了数亿美金一台，比大飞机还贵。

　　贵还不说，发达国家还制止对我国出售光刻机，只卖芯片给我国。一些国家在芯片产品的供给问题上，卡住了我国的脖子，我国的半导体企业也只能在失望中苦苦挣扎。

　　我国的光刻机研制制作停下来后，国外的光刻机研制却一直在不断展开，攀爬新高峰。现在，发达国家研制的高端光刻机，其出产制作的芯片已达到纳米级。

　　局势非常严峻。高层领导中具有战略眼光的领导人也看出了问题，期望清华大学从头康复主动光刻机的研制制作……

　　此刻，徐端颐已退休，其团队的骨干成员也星散各方。要想从头组成当年那样精干超卓的高水平的科研团队，谈何容易！回来搜狐，检查更多

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